三坐標(biāo)檢測(cè)儀是在三個(gè)彼此垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測(cè)長(zhǎng)元件、數(shù)顯設(shè)備，有一個(gè)能夠放置工件的工作臺(tái)（大型和巨型紛歧定有），測(cè)頭能夠以手動(dòng)或機(jī)動(dòng)方式輕快地移動(dòng)到被測(cè)點(diǎn)上，由讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯設(shè)備把被測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值顯示出來(lái)的一種丈量設(shè)備。

明顯這是簡(jiǎn)單、原始的測(cè)量機(jī)，有了這種測(cè)量機(jī)后，在測(cè)量容積里任意一點(diǎn)的坐標(biāo)值都可經(jīng)過(guò)讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯設(shè)備顯示出來(lái)。測(cè)量機(jī)的采點(diǎn)發(fā)訊設(shè)備是測(cè)頭，在沿X、Y、Z三個(gè)軸的方向裝有光柵尺和讀數(shù)頭。

其三坐標(biāo)測(cè)量進(jìn)程就是當(dāng)測(cè)頭接觸工件并宣布采點(diǎn)信號(hào)時(shí)，由控制體系去收集當(dāng)前機(jī)床三軸坐標(biāo)相對(duì)于機(jī)床原點(diǎn)的坐標(biāo)值，再由計(jì)算機(jī)體系對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和輸出。因此三次元測(cè)量機(jī)能夠用來(lái)直接檢測(cè)尺寸。也能夠獲得間接尺寸和形位公役及各種相關(guān)關(guān)系，也能夠完成全面掃描和一定的數(shù)據(jù)處理功能，為加工供給數(shù)據(jù)和丈量結(jié)果。主動(dòng)型還能夠進(jìn)行主動(dòng)測(cè)量，完成批量零件的主動(dòng)檢測(cè)。

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